1200℃雙管滑動(dòng)式單溫區/多溫區CVD系統產(chǎn)品用途：

此款CVD系統是專(zhuān)門(mén)為在金屬箔上生長(cháng)薄膜而設計，特別是應用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔

電極方面的研究，通過(guò)滑動(dòng)爐實(shí)現快速加熱和冷卻。

產(chǎn)品組成：

CVD系統配置：

1、1200度開(kāi)啟式真空管式爐（可選配單溫區及雙溫區）。

2、滑動(dòng)系統分為手動(dòng)、電動(dòng)滑動(dòng)，并配有風(fēng)冷系統。

3、內外雙石英管，采用真空可通氣氛雙法蘭特殊連接。

4、多路氣體流量控制系統（質(zhì)子流量控制器和浮子流量控制器）

5、真空系統（可選配中真空或高真空）

1200℃雙管滑動(dòng)式單溫區/多溫區CVD系統產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、控制電路選用模糊PID程控技術(shù)，該技術(shù)控溫精度高，熱慣性小，溫度不過(guò)沖，性能可靠，操作簡(jiǎn)單。

2、中真空系統具有真空度上下限自動(dòng)控制功能，高真空系統采用高壓強，耐沖擊分子泵，防止意外漏氣造成分子泵損壞，延長(cháng)系統使用壽命。

3、(電動(dòng))滑動(dòng)系統采用溫度控制器自動(dòng)控制爐體移動(dòng)，等程序完成，爐體按設定的速度滑動(dòng)，因有滑動(dòng)限位功能，爐體不會(huì )發(fā)生碰撞，待樣品露出爐體后，通過(guò)風(fēng)冷系統快速降溫。

4、雙管真空密封法蘭，反應氣體可以在內外管之間發(fā)生反應，冷卻氣體可通過(guò)內管，從而使內管外壁溫度降低。

產(chǎn)品圖片：

技術(shù)參數：